靜電吸盤（ESC）是半導(dǎo)體工藝中硅片等襯底的夾持工具。ESC以靜電吸附為基本原理在施加外部高壓后，通過靜電吸盤產(chǎn)生的庫侖力或者梯度力來固定硅片等襯底的。
通用外形尺寸，單位:mm
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6inch ESC |
8inch ESC |
12inch ESC |
單位 |
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原理類型 |
庫倫型或梯度力 |
庫倫型或梯度力 |
庫倫型或梯度力 |
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電極類型 |
雙電極或叉指電極 |
雙電極或叉指電極 |
雙電極或叉指電極 |
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精度 |
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全局平面度 |
＜2 |
＜2 |
＜5 |
μm |
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平行度 |
＜30 |
＜30 |
＜30 |
μm |
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電氣性能 |
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標(biāo)準(zhǔn)吸附電壓 |
1000 |
1000 |
1000 |
V |
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漏電流 |
＜5 |
＜5 |
＜5 |
nA |
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性能參數(shù) |
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吸附力 |
≥8（庫倫型） |
≥12（庫倫型） |
≥30（庫倫型） |
N |
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外觀尺寸 |
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直徑 |
144 |
194 |
294 |
mm |
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厚度 |
12.6 |
12.6 |
12.6 |
mm |
*電極數(shù)量、平面度指標(biāo)、外形尺寸和相關(guān)結(jié)構(gòu)均可定制化設(shè)計
