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主要應用
半導體設備和激光領域
性能簡介
PART100精密氣浮轉臺高精度的回轉精度，提供超平穩(wěn)的運動，角秒級別的精度和絕對重復性；高超的制造水平，保證了氣浮軸承的質量和穩(wěn)定性；輕質化設計，產品重量輕，更便于集成。
機械尺寸圖
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PART100
技術參數(shù)
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技術指標 |
單位 |
PART100 |
|
臺面直徑 |
mm |
100 |
|
高度 |
mm |
95 |
|
中空尺寸 |
mm |
25 |
|
最大轉速 |
rpm |
600rpm@48V |
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峰值扭矩 |
N·m |
3.9 |
|
連續(xù)扭矩 |
N·m |
3.2 |
|
精度 |
arcsec |
±1.5 |
|
雙向重復精度 |
arcsec |
±1 |
|
最大負載_軸向 |
Kg |
53 |
|
最大負載_徑向 |
Kg |
17 |
|
軸向誤差運動(同步) |
nm |
<100 |
|
徑向誤差運動(同步) |
nm |
<200 |
|
傾斜誤差(同步) |
|
<2.5µrad(0.5arcsec) |
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工作氣壓 |
Mpa |
0.5 |
|
耗氣量 |
L/min |
<25 |
|
總質量 |
Kg |
4 |
＊精度檢測轉速為60rpm檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22°±0.5℃
