多軸微動(dòng)臺(tái)擁有四個(gè)各自獨(dú)立的自由度，包括—個(gè)旋轉(zhuǎn)軸、一個(gè)垂直軸及兩個(gè)搖擺和傾斜修正軸。 Z3T70模塊結(jié)構(gòu)非常緊湊，具備優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)特性。該模塊不僅能提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精度，簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)難度，還可顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價(jià)比。其獨(dú)特的磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)大幅降低了垂向執(zhí)行器的發(fā)熱，從而有效保障了垂向的納米級(jí)定位精度。
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Z3T70-40 |
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Fine Z |
Tip-Tilt |
Theta |
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電機(jī)類別 |
DD |
DD |
DD |
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負(fù)載 |
2 Kg |
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驅(qū)控 |
ACS |
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環(huán)境溫度 |
22±1℃ |
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行程 |
4 mm |
±0.1° |
infinite |
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驅(qū)動(dòng)質(zhì)量（不含吸盤） |
4 Kg |
/ |
2 Kg |
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模塊質(zhì)量（不含吸盤） |
10 Kg |
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最大軸向負(fù)載 |
2.2 Kg |
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最大速度 |
0.03 m/s |
- |
15 rad/s |
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最大加速度 |
0.5 m/s2 |
- |
100 rad/s2 |
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位置穩(wěn)定性 |
±10 nm |
- |
±0.05 μrad |
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單向重復(fù)性 |
- |
- |
- |
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雙向重復(fù)性 |
±0.05 μm |
- |
±0.5 arcsec |
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徑跳 |
- |
- |
±3.5μm |
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軸跳 |
- |
- |
±3 μm |
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信號(hào)類別 |
增量式 |
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輸出信號(hào) |
TTL |
1Vpp |
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在Z3T70產(chǎn)品序列里，配詈了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括縮碼器、T軸硬限位和控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。
表1 編碼器選項(xiàng)
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，RS422 |
