精密機械轉(zhuǎn)臺采用了扁平的設(shè)計思想，能實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)方向高精度、高剛度無限制運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于RD180
|
技術(shù)指標 |
單位 |
RD180-00 |
|
精度_校準前* |
arcsec |
±30 |
|
精度_校準后* |
arcsec |
±3 |
|
雙向重復精度* |
arcsec |
±2 |
|
軸向跳動 |
μm |
±3 |
|
徑向跳動 |
μm |
±3.5 |
|
傾斜誤差 |
arcsec |
10 |
|
連續(xù)扭矩 |
N·m |
2.4 |
|
最大轉(zhuǎn)速 |
rpm |
150 |
|
位置穩(wěn)定性（3σ）* |
arcsec |
±0.072 |
|
Move1: 1 deg within±40μdeg* |
ms |
100 |
|
Move2: 180 deg within±40μdeg* |
ms |
500 |
|
機械特征 |
|
|
|
外觀尺寸 |
mm×mm |
284×284 |
|
最大負載_軸向 |
Kg |
7 |
|
最大負載_徑向 |
Kg |
3 |
|
轉(zhuǎn)動慣量 |
Kg•m² |
0.00038 |
*測試數(shù)據(jù)來源于采用20μm pitch光柵尺的測試，且運動臺處于主動隔振環(huán)境下。
在RD180系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括編碼器、Chuck 供氣路數(shù)、控制系統(tǒng)等選項。
|
表1編碼器選項 |
|
|
-S1 |
標準款，Renishaw編碼器 |
|
-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
|
表2 Chuck供氣選項 |
|
|
-C1 |
Chuck單氣路供氣 |
|
-C2 |
Chuck雙氣路供氣 |
|
-C3 |
Chuck三氣路供氣 |
