激光切割、半導(dǎo)體、平板顯示、自動化
電控精密位移臺采用了緊湊扁平的設(shè)計思想，能實現(xiàn)水平向高精度、高剛度直線運動。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于LTS165
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技術(shù)指標 |
單位 |
LTS165-100 |
LTS165-200 |
LTS165-300 |
LTS165-400 |
LTS165-500 |
LTS165-600 |
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行程 |
mm |
100mm |
200mm |
300mm |
400mm |
500mm |
600mm |
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最大速度 |
m/s |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
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加速度 |
g |
3g |
3g |
3g |
3g |
3g |
3g |
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精度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
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雙向重復(fù)精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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直線度 |
μm |
±2.5 |
±4 |
±6 |
±8 |
±9 |
±10 |
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俯仰 |
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29μrad (6arcsec) |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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橫滾 |
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29μrad |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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偏擺 |
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29μrad |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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機械特征 |
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驅(qū)動負載（無負載） |
Kg |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
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最大負載 |
Kg |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
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平臺質(zhì)量 |
Kg |
9.1 |
10.8 |
12.5 |
14.2 |
15.8 |
17.5 |
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外觀尺寸 |
mm×mm×mm |
396×245×99.5 |
496×245×99.5 |
596×245×99.5 |
696×245×99.5 |
796×245×99.5 |
896×245×99.5 |
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平臺材料 |
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航空鋁，黑色陽極氧化 |
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在LTS165系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器等選項。
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表1行程選項 |
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-100 |
105mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-200 |
205mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-300 |
305mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-400 |
405mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-500 |
505mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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-600 |
605mm行程位移平臺，配置直線電機和限位 |
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表2編碼器選項 |
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-S1 |
增量式模擬光學式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學式編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對式光學式編碼器，BISS |
